洁净室的废水废气处理

　　洁净室的废水处理

　　一、工业洁净室特别是电子工业洁净室排放的废水主要成份有：含酸废水、含碱废水、含氟废水、含磷废水、有机废水等不同行业、不同产品、不同工艺其废水的成份不同，但都必须进行处理，处理后的废水达到国家排放标准方能排放。

　　半导体集成电路工厂的废水处理大都采用化学中和沉淀法处理。其典型流程如下：

　　二、生物洁净室特别是生物安全实验室排出的废水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物质，而且产品品种、生产工艺不同废水的成份也不同。因此含有害微生物的废水应按成份分别收集，分别灭活、消毒灭菌后达标才能排放。

　　洁净室的废气处理

　　一、工业洁净室，特别是电子工业洁净室排放的废主要成份有：一般废气、热废气、有机废气、酸碱废气、含磷等特殊废气、含粉尘的废气等，不同行业、不同产品、不同工艺其排放的废气的成份不同，但都必须处理达到国家排放标准后方能排到室外。

　　1、一般由生活用房、值班室、卫生间排出的一般废气可直接排到室外。

　　2、排放的有机废气超标时必须经过有机废气处理设备处理达标后再排放有机废气，处理方法有活性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法等。

　　3、含酸碱废气在生产工艺中排放的较多，一般都是经过淋液湿式洗气吸收塔进行中和处理达标排放。

　　4、排放的热废气一般情况下可直接排放，如果温度较高必须采取隔热措施以免伤人。

　　5、含尘废气必须经过适当的除尘装置除尘后再排至大气。

　　6、含磷、含砷等特殊废气首先防止在排气系统中产生化学反应并通过专用的废气处理设备处理后达标排放。通常处理方法有稀释法、吸收法、吸附法、催化燃烧法等等。

　　二、生物洁净室尤其是生物安全实验室的排风一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此这类排风须经过过滤灭菌后再排放。如手术室的排风须经过中效过滤方能排到室外;P3实验室的排风须经过高效过滤器过滤后方能排到室外;P4实验室的排风须经过两级高效过滤器过滤后才能排到室外。为了安全*好采用袋进袋出的高效过滤器装置。

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