电子洁净实验室的前期规划与设计

　　明确需求与等级标准

　　确定洁净度等级(如ISO 14644-1标准中的Class 1~9级，或美国联邦标准FS 209E)，进而进行洁净工程。

　　根据实验类型(如半导体制造、微电子器件封装、光学器件研发)确定温湿度、气压梯度、防静电(ESD)、振动控制等参数。

　　预留未来升级空间，考虑设备布局和工艺动线。

　　选址与建筑结构设计

　　避免靠近振动源、污染源(如交通干道、化工厂)。

　　建筑主体需具备高气密性，墙体、天花板采用无尘、抗静电材料(如彩钢板、不锈钢板)。

　　地面采用环氧自流平或PVC防静电地板，接缝需密封处理。

　　HVAC系统设计

　　空气净化系统：高效过滤器(HEPA/ULPA)的布局与换气次数(如ISO Class 5级需≥50次/小时)。

　　温湿度控制：精密空调系统，维持温度22±1℃、湿度45%±5%。

　　气流组织：单向流(层流)或非单向流(湍流)，确保污染物快速排出。

　　防静电与电磁屏蔽

　　地面、工作台面采用导电材料，接地电阻≤1×10⁶Ω。

　　设备需配置离子风机或静电消除器，必要时增加电磁屏蔽室。