电子洁净实验室施工的关键环节
更新时间:2025-03-04
洁净室围护结构施工
墙体与吊顶:彩钢板拼接需无缝密封,阴阳角采用圆弧处理减少积尘。
门窗:气密型设计,带闭门器和双层玻璃观察窗。
通风与过滤系统安装
风管采用不锈钢或镀锌钢板,内壁光滑防积尘。
HEPA/ULPA过滤器安装前需进行泄漏测试(如PAO/DOP法)。
压差控制:不同洁净区域压差梯度≥5Pa(如核心区>缓冲区>普通区)。
电气与自控系统
照明采用嵌入式洁净灯,无尘、防爆设计。
智能化监控系统:实时监测颗粒物、温湿度、压差、能耗等数据。
备用电源:UPS或发电机保障关键设备持续运行。
管道与辅助设施
纯水、超纯水系统:管路材质为PVDF或316L不锈钢,循环防死水。
废气处理:酸性/有机废气通过洗涤塔或活性炭吸附处理。
真空、压缩空气系统:终端配置高精度过滤器。
通过以上施工,可确保电子洁净实验室满足精密电子制造与研发的严苛要求,同时兼顾效率与成本。建议委托专业洁净工程公司进行EPC总包(设计-采购-施工一体化),减少多方协调风险。
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