光学微电子实验室设计施工要求

　　光学微电子实验室一般需要洁净的环境， 所以其设计装修要以洁净度和温湿度为主要技术需求。

　　一、光学微电子实验室平面布局设计要求

　　1. 洁净区：洁净等级设置为百级、千级或万级

　　2. 无尘辅助用房：洁净等级设置为万级、十万级，一般包括人流进出洁净用房，物料进出清洁区和部分办公生活区等。

　　3. 超净净化房间管理区：洁净等级设置为十万级或三十万级，一般包括办公室、会议室、值班室和休息区。

　　4. 专用设备区：该区域对空气净化等级没有要求，但要求与净化车间设置有效的物理或空气隔离，本区域主要设置净化空调机房、电气用房、纯水间、用气间。

　　二、光学微电子实验室装修施工要求

　　1. 吊顶材料：采用FFU盲板或选用防火彩钢板，吊顶内须可上人，对承重要进行详细技术。

　　2. 墙体装修材料：采用防火彩钢板，彩钢板厚度为50mm，可以尽量有效的适用场地的占地面积，该彩钢板在安装时需要进行接地处理，以到达排放静电的功能。

　　3. 地面装修：一般选用环氧自流平或PVC卷材，但无尘房间内须对上述两种材料进行抗静电处理。