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光学微电子实验室设计施工要求

更新时间:2022-08-04

  光学微电子实验室一般需要洁净的环境, 所以其设计装修要以洁净度和温湿度为主要技术需求。

  一、光学微电子实验室平面布局设计要求

  1. 洁净区:洁净等级设置为百级、千级或万级

  2. 无尘辅助用房:洁净等级设置为万级、十万级,一般包括人流进出洁净用房,物料进出清洁区和部分办公生活区等。

  3. 超净净化房间管理区:洁净等级设置为十万级或三十万级,一般包括办公室、会议室、值班室和休息区。

  4. 专用设备区:该区域对空气净化等级没有要求,但要求与净化车间设置有效的物理或空气隔离,本区域主要设置净化空调机房、电气用房、纯水间、用气间。

  二、光学微电子实验室装修施工要求

  1. 吊顶材料:采用FFU盲板或选用防火彩钢板,吊顶内须可上人,对承重要进行详细技术。

  2. 墙体装修材料:采用防火彩钢板,彩钢板厚度为50mm,可以尽量有效的适用场地的占地面积,该彩钢板在安装时需要进行接地处理,以到达排放静电的功能。

  3. 地面装修:一般选用环氧自流平或PVC卷材,但无尘房间内须对上述两种材料进行抗静电处理。



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