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洁净室设计之自控的对象

更新时间:2023-02-09

  1. 温度

  洁净室的温度控制主要是由工艺而定,根据需要来对温度基数和精度提升要求。一般情况下,温度基数偏低。如电子工厂洁净室温度取,比舒适性空调低很多。因此,夏季的冷负荷也显得较大。另外,工艺设备的发热量也是比较大的,也就是说,温度扰量很大,而且,变化也很大,工艺设备的使用系数是根据产量品种变化而变化,产品是根据市场变化而变化。总结一下,特点:温度基数低,负荷变化大。

  2. 湿度

  洁净室温度控制也是根据工艺要求而定,如电子厂,制药厂相对的湿度基数也是偏低的,约为,但又不能太低,如果太低,容易产生静电。

  3. 正负压值

  洁净室内有工艺设备在生产过程中会有有毒有害的废热砌体产生,需要排出至室外,而为了保证室内的洁净度,一般情况下,要求室内保持正压(也有特殊要求,而保持负压的),根据不同的洁净度,正压值的要求也不同。

  4. 洁净度

  因为生产环境的洁净度和产品的合格率有着密切的关系,因此,对洁净室要求进行全面定期的检测,如发现洁净度不满足工艺的要求,应该及时报警。

  5. 易燃易爆、有毒有害气体的浓度检测

  当易燃易爆、有毒有害气体的浓度达到规定限制的时候,要启动事故排风,并且报警。



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